壓電晶體生長爐

產(chǎn)品簡介：

本設(shè)備是公司新研發(fā)的用于鉭酸鋰（LT）和鈮酸鋰（LN）等材料的壓電晶體生長的設(shè)備。主要用于CZ法單晶的生產(chǎn)，全自動控制系統(tǒng)可提高晶體品質(zhì)和一致性，過程可控穩(wěn)定性高，減少人工干預(yù)、工作強度和成本。

壓電晶體生長爐技術(shù)參數(shù)

技術(shù)參數(shù)：

爐體內(nèi)腔尺寸：φ800mm×1000mm

外形尺寸：1000mm×1000mm×2500mm

最大長晶尺寸：6英寸

籽晶軸提拉行程：450mm

提拉運動最小線速度：0.01mm/hr

快速提拉速度：200mm/min

籽晶軸轉(zhuǎn)動速度：0.1～100r/min

稱重系統(tǒng)：稱重傳感器量程20kg；信號放大器顯示精度0.01g

控制軟件：提拉法等徑控制軟件，采用上稱重方法來控制晶體直徑，晶體形狀可隨意設(shè)計，PID及運動參數(shù)可隨晶體形狀過渡變化，屏幕上數(shù)據(jù)交叉顯示提供生長過程中數(shù)據(jù)綜合分析工具。

加熱電源：中頻感應(yīng)加熱

加熱最大輸出功率：30KW

真空系統(tǒng)：機械泵抽真空

水冷系統(tǒng)：爐腔、加熱線圈流量控制循環(huán)冷卻。